Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

产品概要：

二维／三维表面粗度解析及台阶测定，可实现高精度、高辨识能力及优越的安全性。

基本信息：

极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式，可避免圆弧补正误差，可避免Bearing间隙误差；台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)。

高分辨率

纵轴分辨率高至0.1nm，横轴分辨率高至0.1um，X测定速度可调：5μm~2mm/s。

低测定力

测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定，可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保证-1

技术优势：

1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

2、独特的直动式传感器设计

3、Z方向分辨率0.1m;重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

4、Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

5、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向测量长度大至100mm，Y方向移动大至150mm

7、选配三维测量功能

应用方向：

主要用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定，另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。

Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

Kosaka 6寸台阶仪 ET200A