产品测试功能
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Keithley 4200A-SCS 半导体参数分析仪
测试能力
1、200V 1A IV 特性测试，适用于二极管 Diode，电阻Resistor，三极管 BJT， MOSFET 等测试
2、10KHz to 10MHz CV 测试
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Keysight B1505A 功率器件测试分析仪
测试能力
1、3KV 20A（pulse）IV 特性测试，适用于低功率以及高功率二极管 Diode， 三极管 BJT，电阻 Resisrot
2、金属氧化物半导体场效应晶体管 MOSFET，SiC & GaN MOSFET，Diode 测试
3、CV 测试：10KHz—5MHz
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Keysight E5063A 矢量网络分析仪
测试能力
1、100KHz—18GHz 双端口 S 参数测试，Z 参数以及 Y 参数测试
2、时域分析，特性阻抗以及差分阻抗测试
3、无线充电效能测试，包括有源低功率放大器，滤波器， 天线，衰减器，射频开关等测试
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MPI TS2000-IFE 全自动测试 8 寸探针台
测试能力
1、8 寸及以下晶圆级 67GHz 高频测试
2、低漏电器件材料表征测试，光电器件表征
3、全自动测试：IV 测试，双端口RF 器件测试
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MPI TS150 6 寸手动探针台
测试能力
1、6 寸及以下晶圆级 67GHz 高频，低漏电器件材料测试
2、光电器件表征
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MPI TS3000 半自动测试 12寸探针台
测试能力
1、12寸及以下晶圆级低漏电器件材料表征测试，光电器件表征
2、-40至200℃高低温IV测试
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FS-Pro 半导体参数测试系统
测试能力
1、0.1fA灵敏度，30fA精度，直流1A，脉冲3A，脉宽50us，电压200V
2、适用于IV测试
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LPS-50液氮连续流低温探针台
测试能力
1、低温真空探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件最大尺寸可达到51mm(2inch)
2、可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量等提供一个测试平台
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低温磁场探针台
测试能力
1、可以对器件进行非破坏性测试，器件的尺寸可达到25mm(1inch)
2、可以对材料或器件电学特性测量、光电特性测量、参数测量和磁特性测试测量提供测试平台
